ZGCJ型化学气相沉积炉
真空感应化学气相沉积炉分为立式和卧式结构，由炉体；液压升降进出料系统；感应加热器；真空系统；供气系统；气体控制装置；尾气净化系统；中频可控硅电源；自动控制系统；自动记录装置；工作平台；粉尘过滤系统；水冷系统等组成。
设备选型表：
| 有效工作区(φ×H)mm | 更高使用温度℃ | 极限压力Pa | 压升率Pa/h | 控温精度℃ | 中频功率kW | 中频频率Hz | 中频电压(交流)V |
| 150×250 | 1600 | 5 | 4 | ≤±2 | 50 | 2500 | 250 |
| 300×500 | 1500 | 5 | 4 | ≤±2 | 100 | 2500 | 250 |
| 450×600 | 1500 | 5 | 4 | ≤±2 | 120 | 2500 | 250 |
| 680×900 | 1500 | 5 | 4 | ≤±2 | 160 | 1000 | 250 |
| 800×1200 | 1400 | 5 | 4 | ≤±2 | 250 | 1000 | 250 |
| 1000×1500 | 1500 | 5 | 4 | ≤±2 | 300 | 1000 | 250 |
| 1200×1500 | 1600 | 5 | 4 | ≤±2 | 350 | 1000 | 250 |
| W2000×H2000×L5000 | 2000 | 5 | 4 | ≤±2 | 1260 | 800 | 250 |
| W1200×H1200×L2000 | 2000 | 5 | 4 | ≤±2 | 400 | 1000 | 250 |
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